Tip: Skan edən proba mikroskopu (SPM). Ölçmə modları: AFM (Atomic Force Microscopy), STM (Scanning Tunneling Microscopy), kontakt və qeyri‑kontakt rejimlər.Rezolyusiya: Nanometr səviyyəsində topoqrafik və fiziki ölçmələr. Səth analizi: Atom və molekulyar səviyyədə detal g. Tətbiq sahələri: Nanotexnologiya, material elmləri, biomolekul tədqiqatları
Funksiya: Səth topoqrafiyası, maqnit, elektrik və mexaniki xüsusiyyətlərin ölçülməsi