VUP vakuum qurğusu nazik təbəqələrin (thin films) alınması üçün istifadə olunan köhnə tipli laboratoriya vakuum depozisiya sistemidir. Cihazda nümunə vakuum kamerasına yerləşdirilir və vakuum şəraitində materialın buxarlandırılması /çökdürülməsi yolu ilə səth üzərinə nazik təbəqə formalaşdırılır. Qurğu yarımkeçirici, metal və dielektrik materialların nazik örtüklərin inalınmasında tətbiq olunur.