Name
Angstrom evovac
Manufacturer
Kanada Angstrom 2011
Category
Vakuum texnologiyalı fiziki çökdürmə sistemi (PVD – Physical Vapor Deposition)
Owner Organisation
Fizika İnstitutu PHŞ - Nazik təbəqələr və epitaksial strukturlar laboratoriyası
Owner Researcher
Хuraman Əhmədova Nüsrət qızı, khuramanahmadova85@gmail.com
Description
Angstrom Evovac yüksək vakuum şəraitində işləyən, termal buxarlandırma (thermal evaporation) və bəzi modellərdə elektron-şüa buxarlandırma (e-beam evaporation) imkanlarına malik nazik təbəqə çökdürmə sistemidir. Qurğu materialın vakuumda buxarlanaraq substrat üzərinə atom-atom çökməsini təmin edir. Proses zamanı təbəqənin qalınlığı, çökdürmə sürəti və homogenliyi dəqiq şəkildə idarə olunur.
Image(s)
