EM-576AM - (:unkn) unknown (My University, 2026)
İnteqral mikrosxemlərin və yarımkeçirici cihazların hazırlanmasında fotolitoqrafiya prosesləri zamanı lövhənin fotorezist təbəqəsini ekspone etməklə fotomaska və yarımkeçirici lövhə üzərində təsvirlərin birləşdirilməsi və təsvirin fotomaskadan lövhəyə ötürülməsi (Emissiya diodunun dalğa uzunluğu: 365nm, 400nm)