Vakuum su nasosu - (:unkn) unknown (My University, 2026)
VUP vakuum qurğusu nazik təbəqələrin (thin films) alınması üçün istifadə olunan köhnə tipli laboratoriya vakuum depozisiya sistemidir. Cihazda nümunə vakuum kamerasına yerləşdirilir və vakuum şəraitində materialın buxarlandırılması /çökdürülməsi yolu ilə səth üzərinə nazik təbəqə formalaşdırılır. Qurğu yarımkeçirici, metal və dielektrik materialların nazik örtüklərin inalınmasında tətbiq olunur.